JEOL JSM 7800F扫描电子显微镜

JSM-7800F场发射扫描电镜是新一代超高分辨率扫描电镜，配备了新开发的超级混合式物镜(SHL)，在保持极高的可操作性的同时，实现了低加速电压下的高分辨率SEM，电子源采用浸没式（In-lens）肖特基型发射电子枪，可在大探针电流下进行稳定的高精度分析。扫描电子显微镜应用广泛，从基础材料研究到生产中的特定应用。

主要功能：金属、非金属、生物等各种样品的纳米尺度的形貌分析；微区成分分析；微区取向、微观织构分析；晶体结构分析；物相分析等。

探头类型：LED、UED、BED、STEM、EDS（型号为80mm2 X-MaxN SiliconDriftDetector）、EBSD（型号为NordlysMax2）。

JEOL JSM7800F扫描电子显微镜特征：

最终分辨率

超级混合物镜的分辨率为0.8nm(15kV)和1.2nm(1kV)。

高速、高精度元素分析

该显微镜利用最佳聚焦的电子探针在高电流下进行快速样品分析，而不会影响分析精度和元素图谱的质量。

通过稳定的电子探针获取高质量数据

持久耐用的镜头内热电子枪可产生稳定的探头，从而可以从成像和各种分析（包括EDS、WDS、EBSD和CL）中连续采集高质量数据。

支持广泛的样本

超级混合物镜可以在高放大倍率下对磁性样品进行成像/分析。它还使非导电样品的成像变得容易。

使用超级混合镜头(SHL)进行高分辨率观察

物镜是超级混合透镜（SHL），由静电磁场和静电场重叠组成。减少色差和球差可以提高分辨率，尤其是在低加速电压下。SHL不会对样品产生磁场影响，因此可以毫无困难地对磁性材料和EBSD分析进行观察。

低加速电压下的能量选择

能量过滤器直接安装在上部电子探测器(UED)下方，因此可以选择能量。即使在低加速电压下，也可以准确选择二次电子和背散射电子，从而可以在低加速电压下使用背散射电子图像对样品顶面进行成分观察。

使用温和光束进行顶部表面成像

通过向样本(GB)施加偏置电压，入射电子的速度会降低，而释放电子的速度会增加。即使样品曝光能量较低，也能获取具有良好信噪比的高分辨率图像。如果使用允许施加更高偏压的GB模式，即使样品曝光能量仅为几十eV，也可以进行更高分辨率的观察。

使用多个探测器获取所有信息

JSM-7800F包含4种类型的探测器，包括上电子探测器(UED)、上二次电子探测器(USD)、背散射电子探测器(BED)和下电子探测器(LED)。对于UED来说，二次电子和背散射电子剂量可以根据滤波器电压而改变，从而可以选择电子能量。USD检测从过滤器弹回的低能电子。使用BED，可以通过检测低角度背散射电子来清楚地观察沟道对比度。LED能够采集具有3维外观的图像，包括来自照明效果的表面粗糙度信息。

JEOL JSM7800F扫描电子显微镜参数指标：

主要选项

• 能量色散X射线光谱仪(EDS)
• 波长色散X射线光谱仪(WDS)
• 电子背散射衍射(EBSD)系统
• 阴极发光检测器(CLD)

JSM-7800F是一款终极分析工具，可满足各种用户的需求。凭借其新型超级混合物镜，该显微镜能够进行高分辨率成像以及高速、高精度元素分析。