FEI菲利普斯Nova Nano扫描电子显微镜

FEI菲利普斯Nova Nano SEM是一款肖特基场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)，型号有SEM450/650/660，得益于FEI的Helix探测器技术，它将高低压超高分辨率功能与低真空高分辨率成像功能相结合。该仪器具有双模最终透镜、光束减速和环境SEM技术，为纳米技术实验室中使用各种纳米材料/或器件的研究人员和开发人员带来了前所未有的多功能性。

该产品是一款可以对有机材料、基板、多孔材料、塑料以及高聚物材料等有电荷积累的样品和/或污染性样品进行超高分辨表征的低真空场发射扫描电子显微镜（FEG-SEM）。作为FEI公司引领市场的众多设备中一员，在给用户带来超高分辨率的同时，还能在低真空环境下有效地抑制非导电材料的电荷积累效应。Nova Nano SEM的这种新技术还可以有效地抑制由前道样品处理过程所引起的电子束诱导污染。

FEI菲利普斯NovaNano扫描电子显微镜SEM主要特点：

• 超高分辨率Schottky场发射电子枪；
• 超高分辨率低真空场发射扫描电镜，具有高真空和低真空(<200Pa)两种真空模式；
• 对容易污染、容易电荷积累的纳米材料和纳米器件进行观察和分析；
• 完全无油真空系统；
• 可选配电子束曝光、电子束诱导沉积等纳米设计/加工功能；
• FEI公司基于WindowsXP的-xT用户界面；
• 通过处理更广泛的样本类型来扩展您的研究能力；
• 当需要玻璃、陶瓷或其他非导电材料等样品的高质量分析数据时，低真空模式下的强大性能可为您提供更强的分析能力。

FEI菲利普斯NovaNano扫描电子显微镜SEM规格：

核心参数：

• 电子枪种类：冷场发射
• 产地类别：进口
• 二次电子图象分辨率：0.8nm@30kV(STEM探测器)
• 加速电压：200V-30kV，连续可调
• 背散射电子图像分辨率：1.5nm@10kV(Helix探测器)

其他参数：

1.分辨率

• 高真空模式　1.4nm@15kV
  　　　　　　1.8nm@1kV
  　　　　　　0.8nm@30kV(STEM探测器)
• 低真空模式：1.5nm@10kV(Helix探测器)
  　　　　　　1.8nm@3kV(Helix探测器)

2.加速电压200V-30kV，连续可调

3.电子束流范围0.3pA-100nA，连续可调

4.样品台移动范围

• Nova Nano SEM230：X=Y=50mm
• Nova Nano SEM430：X=Y=100mm
• Nova Nano SEM630：X=Y=150mm

除了低真空条件下二次电子和背散射电子成像以外，Nova Nano SEM还具有浸入式透镜的技术和FEI所特有的使用电子束进行纳米结构沉积的气体化学技术，并可以根据您正在研究的样品类型或需要执行的分析工作类型轻松切换仪器条件。使之成为纳米结构与纳米材料研究领域中先进、理想的扫描电镜。