电子行业超纯水器设备的电导率实际体现了其去离子和除杂能力。电导率值也直接影响到终端产品的纯度和性能。电导率值越低,表示设备的超纯水质量越高,能更好地满足电子行业的各项应用。
领先的半导体生产商通常要求电导率控制在2nS/cm以下。另外对应用要求严格的工艺,也会要求电导率低于0.055μS/cm。所以判断超纯水设备的工作效果主要通过比较测量到的电导率值与应用场景对应的标准值。来制定合理的超纯水标准,作为参照判断超纯水设备的工作效果和超纯水质量。
电子行业使用超纯水设备时,超纯水的电导率主要由以下几个方面决定:
去离子效率:离子交换和电膜电透析等去离子方式决定超纯水设备去离子水分离离子的能力,直接影响最终水的电导率。
过滤效果:过滤器,包括活性炭过滤、反渗透过滤和纳米过滤等,可以有效去除溶解在水中的杂质,改善超纯水的电导率。
蒸馏效果:超纯水通过多次沸腾-冷却,能有效去除残余离子和有机杂质,电导率更低。
杂质浓度:超纯水中杂质离子和溶解物的浓度决定其电导率。设备制造和环境条件能很大程度影响这些杂质。
温度:水的温度会影响其电导率,一般情况下电导率随温度升高而增加。但温度变化对电导率影响相对较小。
pH值:在同样的离子浓度下,水的pH值也会影响其电导率。一般酸性水会导致更高的电导率。
超纯水器件材料:设备中用于储存和输送超纯水的部件和润滑材料也可能释放杂质到水中,影响电导率。
所以,电子行业使用的超纯水设备需要采用多种去离子和过滤技术,采用合适的设备材料,并有严格的环境控制。通过减少水中的杂质离子和溶解物,才能产生电导率低于0.5~2μS/cm的超纯水,满足电子行业的要求。
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