制取18MΩ以上的超纯水应该注意哪些问题 适用于哪些行业
18MΩ以上的超纯水是指电阻率高达或超过18MΩ·cm的超纯水。能有效排除几乎所有可能存在的污染源。主要用于电子制造、光学领域及高端清洁度的应用。
通过EDI或者是双极交换技术,当水的电阻率超过18MΩ时,就达到了非常高纯度的超纯水状态,总的来说,高纯度超纯水提供了一个高度清洁的环境去除各种潜在污染物,满足各个细节部分的需求。
制取18MΩ以上的超纯水,需要注意以下问题:
- 进水质量:必须选用高质量的源水,如反渗透水或蒸馏水。需要去除好离子、有机物和杂质。
- 预处理:需要采用多重预处理,如逆渗透、软水和碳净化,以进一步提高源水质量。
- 过滤:多层过滤,包括微滤和原位超滤,能有效去除悬浮物和微生物。
- 去离子化:采用双极交换膜技术,同时配有电渣和碳帽等零件,能有效去离子。
- 超净:离子交换树脂、超纯二氧化碳等,进一步降低水中的杂质含量。
- 过滤器条纹:必须选用抗生素杀菌滤纸条纹以达到超高纯度要求。
- 系统结构:密封良好,减少外界污染。无静电材料、抗腐蚀等。
- 化学物质:必须使用高纯消毒剂、防垢剂等处理剂,避免污染。
- 监控:实时监测不同节点的电导率和pH值,发现问题及时。
- 记录:详细记录制程参数和监控数据,分析分析电阻率下降的原因。
- 防止污染:操作人员需要穿戴防护服和消毓电路,防止生物和人为污染。
18MΩ以上的高纯超纯水主要应用领域:
- 半导体芯片/IC洗涤:在洗涤半导体芯片或集成电路时,高纯度超纯水能有效清除表面尘埃和离子,防止晶圆污染。
- 微电子组装:在组装微处理器、传感器等微电子元器件时,超纯水可以去除尘埃和潜在的污染物。
- 光学设备:用在光学仪器如镜头和棱镜的制作时,可以保证零件表面清洁。
- 生物医学设备:在一些敏感的生物医学仪器部件中使用,可以达到无菌要求。
- 工业变压器:用作器件冷却液或绝缘油时,超纯度能防止变压器故障。
- 核电站: 超过18MΩ的超高纯度是核电站内部环境的基本要求。
以上是制备高纯18MΩ电子级超纯水需要重点注意的问题,有助于在这些应用领域产生高质量和可靠的配件或设备。一个完整的多环节预处理系统以及精细把控每一个环节,才能确保产出符合标准的高纯水。
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