FEI菲利普斯QUANTA扫描电子显微镜

FEI菲利普斯QUANTA是一款场发射扫描电子显微镜,能够生成和收集高分辨率和低真空图像。是各种学术、工业和政府实验室的理想选择。QUANTA配备热电子枪及其三种成像模式(高真空、低真空和ESEM),有QUANTA250/450/650/600F等多种型号可选。所有这些产品均可满足工业工艺控制实验室、材料科学实验室和生命科学实验室的多种样本和成像要求。

FEIQUANTA电镜配备了多种分析和操作工具,允许在同一室内应用不同的技术和方法。并配备了BSE、SE、ISE和EDS等高分辨率成像和表面分析方法。离子束和电子束可与气体注入系统结合使用,沉积薄层Pt以保护勘探地点。该仪器还具有Peltier冷却台和Omniprobe的自动纳米操纵器。

FEI菲利普斯QUANTA扫描电子显微镜 第1张

FEI菲利普斯QUANTA扫描电子显微镜主要特点:

  • Win11专用SEM用户界面;
  • 8kx8kSEM数字成像;
  • 远程访问和操作能力以及先进的安全功能;
  • FEIESEM(环境扫描电镜)技术,可在高真空、低真空和环境真空条件下对各种样品进行观察和分析;
  • 所有真空条件下的二次电子、背散射电子观察和微观分析;
  • 先进的系统结构平台,全数字化系统;
  • 可同时安装能QUANTA系列扫描电镜,png谱仪、波谱仪和EBSP系统;
  • 可安装低温冷台、加热台、拉伸台等进行样品的原位、动态观察和分析。

FEI菲利普斯QUANTA扫描电子显微镜技术规格:

核心参数:

  • 电子枪种类:钨灯丝
  • 产地类别:进口
  • 二次电子图象分辨率:3nm(30kV,SE)
  • 放大倍数:6~1,000,000x
  • 加速电压:0.2~30kV
  • 背散射电子图像分辨率:2.5nm@30kV

技术参数:

1.分辨率:

二次电子:

  • 高真空模式3.0nm@30kV,8nm@3kV
  • 高真空减速模式7nm@3kV(可选项)
  • 低真空模式3.0nm@30kV,10nm@3kV
  • 环境真空模式3.0nm@30kV
  • 背散射电子4.0nm@30kV

2.样品室压力高达2600Pa

3.样品台移动范围:

  • QUANTA250:X=Y=50mm
  • QUANTA450:X=Y=100mm
  • QUANTA650:X=Y=150mm

用途和应用

  • 导电材料的高分辨率成像~20nm分辨率;
  • 无需切片即可对大型(直径约6英寸)样品进行成像;
  • 使用背散射电子成像进行元素对比;
  • 无需导电涂层即可对非导电材料(例如陶瓷、聚合物和生物样品)进行成像;
  • 使用环境模式对湿样品进行成像;
  • 电压对比成像;
  • 使用能量色散光谱(EDS)进行元素图谱和半定量成分分析;
  • 使用EDS进行自动颗粒形态和元素分析;
  • 使用电子背散射衍射(EBSD)进行晶粒分析(晶粒尺寸、取向和织构)。

FEI菲利普斯QUANTA扫描电子显微镜在生物医药、高新技术材料、地质学和矿物学等领域得到了广泛应用与推广。它性能稳定可靠,在科研与工业质控领域有重要地位。

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