电子工业用超纯水设备具备哪些功能及相应作用

电子工业用超纯水设备，简称超纯水设备，是为电子工业提供高纯度水源的重要设备。

电子工业用超纯水设备可以通过多道环节的高精度处理，获得符合电子工业要求的超纯水。主要用于提供电子工艺的清洗、制程中的应用以及设备冷却等目的。它的水质通常需要达到极高要求，像电导率低于0.06μS/cm、总有机碳低于10ppb等。

电子工业用超纯水设备主要具备下列功能：

• 高效去离子：能有效降低水中的离子浓度，主要依靠离子交换树脂和逆渗透膜去离子。
• 高效去杂：通过高性能过滤器、活性炭滤芯等去除水中的懸浮微粒和有机杂质。
• 微生物 barrier：使用UV光或滤芯能有效阻隔微生物进水，保证超纯水的清洁。
• 低总有机碳(TOC)：能达到10ppb甚至更低的总有机碳浓度要求。
• 高阻抗率：一般能达到18MΩ•cm的水质要求。
• 低电导率：一般要求电导率控制在0.06μS/cm以下。
• 稳定水温：能维持稳定的出水温度，一般控制在±1°C。
• 实时监控：能实时监测出水的电导率、浊度、PH值、温度等水质指标。
• 高效储存：使用不锈钢或聚乙二醇储罐，能有效储存和保存超纯水。
• 精确分配：高精度流量计实时监控出水流量，温度传感器校准出水温度。
• 便捷操作：直观的控制界面，方便操作使用。

电子工业用超纯水设备功能的主要作用:

• 提供具有超低电导率的超纯水源，满足电子设备的需求。
• 提供清洁的超纯水源，用于清洗电子部件。
• 保证超纯水的高度清洁。
• 提供稳定且符合标准的超纯水源。
• 有效保存超纯水并保持其水质。
• 满足电子工艺生产的不同水加药需求。

电子工业用超纯水设备的功能主要体现在能高效制备符合电子工业要求的超纯水。主要作用是提供多种电子应用所需的水源。水质通常需要极高要求。

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